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图书信息
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电磁场协同增强高功率脉冲磁控放电及沉积特性
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| ISBN： | 9787567418233 |
定价： | ￥68.00 |
| 作者： | 李春伟著 |
出版社： | 东北林业大学出版社 |
| 出版时间： | 2019年06月 |
开本： | 24cm |
| 页数： | 201页 |
中图法： | O461.2 |
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2025-04-02
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图书简介 | | 本书介绍了一种电-磁场协同增强高功率脉冲磁控放电的高效、高离化率、高沉积速率新技术，并围绕该新技术的放电等离子体特性、发射光谱特性、沉积制备钒膜的结构及性能进行了研究。 |
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