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图书信息
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低温等离子体诊断原理与技术
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| ISBN: | 9787030554758 |
定价: | ¥169.00 |
| 作者: | 叶超编著 |
出版社: | 科学出版社 |
| 出版时间: | 2021年06月 |
开本: | 24cm |
| 页数: | 340页 |
装祯: | 精装 |
中图法: | O536 |
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2026-02-17
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图书简介 | | 本书阐述了低温等离子体诊断的基本原理与重要技术。从等离子体的基本概念与性质、低温等离子体的产生方法和等离子体中的基本化学过程,到低温等离子体的探针诊断技术及其应用、光谱诊断技术及其应用、质谱诊断技术及其应用、离子能量诊断技术及其应用、波干涉诊断技术、等离子体阻抗分析技术及其应用,较全面地介绍了低温等离子体诊断的基础知识,总结了该领域近年来的一些新进展,提供了低温等离子体诊断应用的实例。 |
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