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图书信息
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SOI——纳米技术时代的高端硅基材料
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| ISBN： | 9787312022333 |
定价： | ￥88.00 |
| 作者： | 林成鲁编著 |
出版社： | 中国科学技术大学出版社 |
| 出版时间： | 2009年06月 |
开本： | 24cm |
| 页数： | 468页 |
中图法： | TN304.2-53 |
印次： | 0 |
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2026-06-11
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图书简介 | | 本书收集的纳米技术时代的高端硅基SOI材料方面的研究论文40篇，主要内容包括：SOI——纳米技术时代的高端硅基材料进展，SOI新材料的制备科学，SOI材料与器件特有的物理效应，绝缘体上锗硅(silicon germanium on insulator，SGOI)新结构和应变硅的制备科学，SOI技术的若干应用研究等。书中包含了高端硅基材料前沿领域的多方面创新研究成果。 |
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