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图书信息
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光刻机像质检测技术．下册
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| ISBN： | 9787030673558 |
定价： | ￥228.00 |
| 作者： | 王向朝，戴凤钊等著 |
出版社： | 科学出版社 |
| 出版时间： | 2021年03月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 11,481页 |
装祯： | 精装 |
中图法： | TN305.7 |
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155
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2026-08-20
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图书简介 | | 本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术，详细介绍了本团队提出的系列新技术，涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术，包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主，也介绍了投影物镜的离线像质检测技术，涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。 |
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