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图书信息
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集成电路与光刻机
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| ISBN： | 9787030657923 |
定价： | ￥58.00 |
| 作者： | 王向朝，戴凤钊等著 |
出版社： | 科学出版社 |
| 出版时间： | 2020年08月 |
开本： | 21cm |
| 页数： | 133页 |
装祯： | 平装 |
中图法： | TN4;TN305.7 |
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187
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2026-07-03
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图书简介 | | 本书介绍了集成电路与光刻机的发展历程。重点介绍了光刻机整机、分系统与曝光光源的主要功能、基本结构、工作原理、关键技术等。简要介绍了计算光刻技术。最后介绍了光刻机成像质量的提升与光刻机整机、分系统的技术进步。 |
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