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图书信息
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集成电路制造技术
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| ISBN： | 9787313186515 |
定价： | ￥88.00 |
| 作者： | 张亚非，段力编著 |
出版社： | 上海交通大学出版社 |
| 出版时间： | 2018年10月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 439页 |
中图法： | TN405 |
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2025-12-16
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图书简介 | | 本书主要讲述集成电路与微纳制造工艺技术，既有基本原理和工艺技术的阐述，也有国内外近期发展状况的介绍。本书把集成电路的工艺技术分类为图形化(光刻)、加法(薄膜的技术)、减法(刻蚀技术)、乘除法(离子注入、silicide)及其集成电路工程学(良率、可靠性)和集成电路后勤工作(超净间、lC衍生产业链)几大类，便于学生掌握、记忆和类推。 |
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