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图书信息
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半导体工艺与测试实验
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| ISBN： | 9787030436467 |
定价： | ￥45.00 |
| 作者： | 谢德英[等]编 |
出版社： | 科学出版社 |
| 出版时间： | 2015年03月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 182页 |
装祯： | 平装 |
| 中图法： | TN305 |
印次： | 2018.05重印 |
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2026-05-01
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图书简介 | | 本书介绍了与微电子技术有关的半导体工艺和测试方面的实验，包括半导体制备工艺的主要六个单项工艺实验，半导体材料与器件的常规测试实验，半导体工艺和器件特性仿真实验，以及衔接以上各单项实验综合器件设计、工艺制造、特性表征与检测的课题实验。 |
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