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图书信息
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纳米集成电路制造工艺
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| ISBN： | 9787302452331 |
定价： | ￥89.00 |
| 作者： | 张汝京等编著 |
出版社： | 清华大学出版社 |
| 出版时间： | 2017年01月 |
版次： | 2版 |
| 开本： | 26cm |
页数： | 14,471页 |
中图法： | TN405 |
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2026-04-14
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图书简介 | | 本书共分19章，涵盖先进集成电路工艺的发展史，集成电路制造流程、介电薄膜、金属化、光刻、刻蚀、表面清洁与湿法刻蚀、掺杂、化学机械平坦化，器件参数与工艺相关性，DFM(Design for Manufacturing)，集成电路检测与分析、集成电路的可靠性，生产控制，良率提升，芯片测试与芯片封装等项目和课题。 |
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