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图书信息
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微机电器件设计、制造及计算机辅助设计
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| ISBN： | 9787512421097 |
定价： | ￥65.00 |
| 作者： | 郭占社[著] |
出版社： | 北京航空航天大学出版社 |
| 出版时间： | 2016年05月 |
开本： | 23cm |
| 页数： | 272页 |
中图法： | TN4 |
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2026-06-11
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图书简介 | | 本书首先介绍了MEMS的相关基本理论，微机电系统的重要材料和制造工艺。在这些理论的基础上，对设计规则和重要的工程实例都进行了详细描述。然后，结合MEMS(包括加速度测量)的许多工程应用介绍了角速度测量和压力测量。最后，介绍了利用有限元方法来证明设计的正确性。 |
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