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图书信息
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直拉硅单晶生长过程建模与控制
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| ISBN： | 9787030433466 |
定价： | ￥165.00 |
| 作者： | 刘丁著 |
出版社： | 科学出版社 |
| 出版时间： | 2015年06月 |
开本： | 25cm |
| 页数： | 13,285页 |
装祯： | 精装 |
中图法： | TN304.053;TP273 |
相关供货商
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供货商名称
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库存量
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库区
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更新日期
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北京人天书店有限公司
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1
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库区7
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2025-12-20
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图书简介 | | 本书源于作者在直拉硅单晶生长过程建模与控制领域十余年的研究心得与成果积累。在对硅单晶生长工艺及制备理论进行全面论述的基础上，系统介绍了直拉硅单晶长征的基本原理和工艺过程以及热场、磁场等关键部件的设计理念与方法。 |
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