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图书信息
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纳米级CMOS超大规模集成电路可制造性设计
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| ISBN: | 9787030400345 |
定价: | ¥58.00 |
| 作者: | (美)Sandip,Kundu,(印)Aswin,Sreedhar著 |
出版社: | 科学出版社 |
| 出版时间: | 2014年05月 |
开本: | 24cm |
| 页数: | 11,261页 |
装祯: | 平装 |
中图法: | TN432.02 |
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93
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2025-12-19
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图书简介 | | 本书的内容包括:CMOSVLSI电路设计的技术趋势;半导体制造技术;光刻技术;工艺和器件的扰动和缺陷分析与建模;面向可制造性的物理设计技术;测量、制造缺陷和缺陷提取;缺陷影响的建模和合格率提高技术;物理设计和可靠性;DFM工具和DFM方法。 |
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