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图书信息
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面向集成电路装备的静电卡盘静电力测量
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| ISBN： | 9787523618073 |
定价： | ￥78.00 |
| 作者： | 王珂晟著 |
出版社： | 中国科学技术出版社 |
| 出版时间： | 2025年12月 |
版次： | 1版 |
| 开本： | 24cm |
页数： | 203页 |
中图法： | TN405 |
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2026-05-28
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图书简介 | | 本书围绕静电卡盘静电力测量问题，系统构建了涵盖宏观工程应用和微观机理探究的理论与方法体系，从测量原理创新、实验平台研制、仿真方法验证、统一理论框架建立、参数敏感性分析、微纳尺度测量技术运用等方面开展了深入研究。 |
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