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图书信息
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面向集成电路装备的静电卡盘静电力测量
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| ISBN： | 9787523618073 |
定价： | ￥78.00 |
| 作者： | 王珂晟, 著 |
出版社： | 中国科学技术出版社 |
| 出版时间： | 2025年12月 |
版次： | 1版 |
| 开本： | 24 |
页数： | 216 |
| 装祯： | 平装 |
中图法： | TN405 |
相关供货商
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600
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2025-12-26
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图书简介 | | 静电卡盘是集成电路制造装备中的核心部件，其产生的静电力是一个非常重要的性能评价指标，开展静电力的精确测量具有十分明显的现实意义，也是目前业界亟待解决的关键问题之一。而现有的静电力测量方法均存在不少缺陷，极易产生系统误差，测量的准确性、可靠性和效率都有待提高。 |
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