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图书信息
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半导体工艺与仿真实验
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| ISBN: | 9787569828559 |
定价: | ¥48.00 |
| 作者: | 卢雪梅主编 |
出版社: | 辽宁大学出版社有限责任公司 |
| 出版时间: | 2026年12月 |
开本: | 24cm |
| 页数: | 114页 |
中图法: | TN305 |
图书简介 | | 本书以“真实问题牵引、工艺与仿真并重”为主线,贯通“材料—工艺—器件—电路”全链条,培养学生在实验中理解物理机制、在仿真中优化工艺参数的系统工程能力。全书五章:前三章系统介绍氧化、光刻、刻蚀、掺杂、薄膜沉积等核心工艺模块,配套明确实验目的、原理与操作步骤;第四章选取催化燃烧传感器、白光LED、钙钛矿太阳能电池、发光薄膜及超级电容器等综合案例,覆盖从材料制备到器件封装的全流程;第五章引入TCAD仿真实验,涵盖二极管、晶体管、MOSFET及CMOS反相器,实现工艺参数到器件性能的虚拟推演。 |
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