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图书信息
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超精密检测技术
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| ISBN： | 9787040672688 |
定价： | ￥38.00 |
| 作者： | 陈善勇，熊玉朋主编 |
出版社： | 高等教育出版社 |
| 出版时间： | 2026年07月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 79页 |
中图法： | TG806 |
图书简介 | | 本书主要关注几何量的检测，其超精密检测最终要溯源至激光波长。当前如同步辐射X射线反射镜、极紫外光刻物镜反射镜等已经提出了亚纳米甚至皮米精度的曲面形状测量需求，相应地超精密检测技术形成了以传统精密机械测试理论为基础、光学干涉计量和先进的数据处理算法为主要手段的光机电算一体化新框架。全书共分7章，第1章是超精密检测技术概述，第2-7章分别介绍超精密位移检测技术、坐标与轮廓测量技术、超精密角度检测技术、机床几何误差检测技术、激光干涉波前检测技术、表面微观形貌检测技术等，涵盖了光学制造与超精密加工装备、工艺过程和零件产品的检测等内容。 |
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