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图书信息
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微电子制造工艺技术
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| ISBN： | 9787560621036 |
定价： | ￥18.00 |
| 作者： | 肖国玲主编 |
出版社： | 西安电子科技大学出版社 |
| 出版时间： | 2008年09月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 198页 |
中图法： | TN405 |
印次： | 0 |
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2026-06-10
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图书简介 | | 本书以硅器件平面工艺为主线，适当兼顾其他工艺方法。内容侧重于微电子制造工艺技术的介绍，为方便半导体业界以外人士阅读，还介绍了一些半导体理论基础知识以及半导体工业方面的内容等。 |
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