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图书信息
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Ⅲ族氮化物薄膜生长与测试
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ISBN: | 9787030826480 |
定价: | ¥98.00 |
作者: | 王文樑, 编著 |
出版社: | 科学出版社 |
出版时间: | 2025年08月 |
版次: | 1版 |
开本: | 24 |
页数: | 231页 |
装祯: | 平装 |
中图法: | TB43 |
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198
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2025-10-17
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图书简介 | 本书聚焦国家半导体战略,系统论述了宽禁带半导体核心材料Ⅲ族氮化物的基础理论、制备技术与性能评估方法。第一篇从晶体结构、物理化学特性出发,解析材料在光电子与高功率器件中的应用机理;第二篇介绍了化学/物理气相沉积技术原理与工艺优化策略;第三篇阐述了光学、电学等性能多维度表征方法。同时,书中结合了研究团队创新成果,为学科发展和产业升级注入新动能。 |
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