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图书信息
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原子层沉积技术:从制造原理到装备应用:from manufacturing principles to equipments and applications
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| ISBN: | 9787577218007 |
定价: | ¥168.00 |
| 作者: | 陈蓉[等]著 |
出版社: | 华中科技大学出版社 |
| 出版时间: | 2025年05月 |
开本: | 24cm |
| 页数: | 503页 |
装祯: | 精装 |
中图法: | TB3 |
相关供货商
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供货商名称
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库存量
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库区
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更新日期
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北京人天书店有限公司
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19
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库区4/库区7/泰安展厅库
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2026-02-15
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其它供货商库存合计
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500
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2026-02-13
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图书简介 | | 本书围绕原子层沉积技术,针对原子层沉积工艺、纳米结构可控制造方法、智能制造装备研发、应用等方面进行阐述,全书共分为9章。其中第1章阐述了原子层沉积技术的基本原理与工艺,第2-3章分别介绍了平面型原子层沉积、粉末原子层沉积的方法与装备;第4章对选择性原子层沉积工艺方法进行了详细介绍;第5-9章讨论了原子沉积技术在光致发光、电致发光、柔性封装、热催化、能源材料等领域的应用,是前述章节理论方法的验证与拓展。 |
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