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图书信息
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原子层沉积技术:从制造原理到装备应用:from manufacturing principles to equipments and applications
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| ISBN： | 9787577218007 |
定价： | ￥168.00 |
| 作者： | 陈蓉[等]著 |
出版社： | 华中科技大学出版社 |
| 出版时间： | 2025年05月 |
开本： | 24cm |
| 页数： | 503页 |
装祯： | 精装 |
中图法： | TB3 |
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411
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2026-10-27
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图书简介 | | 本书围绕原子层沉积技术，针对原子层沉积工艺、纳米结构可控制造方法、智能制造装备研发、应用等方面进行阐述，全书共分为9章。其中第1章阐述了原子层沉积技术的基本原理与工艺，第2-3章分别介绍了平面型原子层沉积、粉末原子层沉积的方法与装备；第4章对选择性原子层沉积工艺方法进行了详细介绍；第5-9章讨论了原子沉积技术在光致发光、电致发光、柔性封装、热催化、能源材料等领域的应用，是前述章节理论方法的验证与拓展。 |
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