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图书信息
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微纳集成电路制造工艺
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| ISBN： | 9787040640380 |
定价： | ￥46.00 |
| 作者： | 戴显英, 主编 |
出版社： | 高等教育出版社 |
| 出版时间： | 2025年08月 |
版次： | 1版 |
| 开本： | 26cm |
页数： | 270页 |
| 装祯： | 平装 |
中图法： | TN405 |
相关供货商
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供货商名称
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更新日期
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其它供货商库存合计
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48
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2025-12-08
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图书简介 | | 本书共五篇23章，第一篇介绍集成电路制造器件基础，包括MOSFET器件、功率器件、逻辑芯片和存储芯片；第二篇介绍集成电路制造工艺设计基础，包括工艺设计套件、光刻版技术、光学邻近修正(OPC)、集成电路工艺及器件仿真工具TCAD；第三篇介绍集成电路制造基本工艺，包括光刻工艺、刻蚀工艺、薄膜工艺、掺杂工艺、清洗工艺与化学机械研磨；第四篇介绍集成电路制造工艺集成技术，包括阱工艺、浅槽隔离工艺、栅极工艺、源漏工艺、金属硅化物工艺、接触孔/通孔工艺和金属互连工艺；第五篇介绍集成电路制造后端工艺，包括晶圆测试、封装技术、品质认证及智慧制造。 |
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