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图书信息
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薄膜物理与电子技术
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| ISBN： | 9787030808219 |
定价： | ￥59.00 |
| 作者： | 梁继然主编 |
出版社： | 科学出版社 |
| 出版时间： | 2024年12月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 163页 |
装祯： | 平装 |
中图法： | O484 |
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239
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2026-11-13
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图书简介 | | 本书针对电子科学与技术、集成电路设计与集成系统的专业特点和需求，将现有的薄膜科学技术发展前沿成果与薄膜物理基础相结合，围绕集成电路、电子器件的要求，建立包含制备工艺、微纳结构、电学性能在内的完整的知识体系，使学生了解工艺、结构、性能之间的影响关系，引导学生利用薄膜的基础知识解决新的工程技术或科学问题，提升学生进行薄膜工艺设计、薄膜性能探索的能力。 |
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