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图书信息
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高性能MEMS惯性器件技术
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| ISBN: | 9787515924496 |
定价: | ¥158.00 |
| 作者: | 刘福民[等]著 |
出版社: | 中国宇航出版社 |
| 出版时间: | 2024年10月 |
开本: | 26cm |
| 页数: | 406页 |
装祯: | 精装 |
中图法: | TN965 |
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2026-06-08
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图书简介 | | 本书从MEMS惯性器件研究和设计的角度,论述了高性能MEMS惯性器件的工作原理、误差机理、设计与工艺技术等方面的理论、方法和关键技术。全书共6章,主要包括MEMS陀螺仪和MEMS加速度计的基本原理、MEMS陀螺仪典型结构及误差机理、高性能MEMS陀螺仪关键技术、MEMS加速度计典型结构及误差机理、高性能MEMS加速度计关键技术以及高性能MEMS惯性器件工艺技术等内容。 |
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