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图书信息
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高性能MEMS惯性器件技术
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| ISBN： | 9787515924496 |
定价： | ￥158.00 |
| 作者： | 刘福民[等]著 |
出版社： | 中国宇航出版社 |
| 出版时间： | 2024年10月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 406页 |
装祯： | 精装 |
中图法： | TN965 |
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54
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2026-02-02
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图书简介 | | 本书从MEMS惯性器件研究和设计的角度，论述了高性能MEMS惯性器件的工作原理、误差机理、设计与工艺技术等方面的理论、方法和关键技术。全书共6章，主要包括MEMS陀螺仪和MEMS加速度计的基本原理、MEMS陀螺仪典型结构及误差机理、高性能MEMS陀螺仪关键技术、MEMS加速度计典型结构及误差机理、高性能MEMS加速度计关键技术以及高性能MEMS惯性器件工艺技术等内容。 |
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