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图书信息
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微纳制造与微机电系统
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| ISBN： | 9787030793584 |
定价： | ￥82.00 |
| 作者： | 李经民，刘冲，王立鼎编著 |
出版社： | 科学出版社 |
| 出版时间： | 2024年08月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 281页 |
装祯： | 平装 |
中图法： | TH-39 |
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202
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2026-04-03
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图书简介 | | 本书共8章，第1章概述MEMS的定义、特点、制造技术、发展历程与未来发展趋势；第2、3章分别介绍体硅和表面微加工技术的原理、流程、常见问题与解决方法；第4章阐述近年来体硅和表面硅工艺在MEMS器件制造方面的应用；第5章介绍LIGA/准LIGA技术；第6章介绍MEMS微传感器；第7章介绍MEMS微执行器；第8章介绍MEMS技术在生物医学、军事安全、远程通信以及航空航天等领域的典型应用案例。 |
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