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图书信息
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微纳制造与微机电系统
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ISBN: | 9787030793584 |
定价: | ¥82.00 |
作者: | 李经民,刘冲,王立鼎编著 |
出版社: | 科学出版社 |
出版时间: | 2024年08月 |
开本: | 26cm |
页数: | 281页 |
装祯: | 平装 |
中图法: | TH-39 |
相关供货商
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更新日期
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202
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2025-10-22
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图书简介 | 本书共8章,第1章概述MEMS的定义、特点、制造技术、发展历程与未来发展趋势;第2、3章分别介绍体硅和表面微加工技术的原理、流程、常见问题与解决方法;第4章阐述近年来体硅和表面硅工艺在MEMS器件制造方面的应用;第5章介绍LIGA/准LIGA技术;第6章介绍MEMS微传感器;第7章介绍MEMS微执行器;第8章介绍MEMS技术在生物医学、军事安全、远程通信以及航空航天等领域的典型应用案例。 |
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