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图书信息
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纳米压印技术
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| ISBN： | 9787030325594 |
定价： | ￥128.00 |
| 作者： | 周伟民[等]编著 |
出版社： | 科学出版社 |
| 出版时间： | 2012年01月 |
开本： | 24cm |
| 页数： | 255页 |
装祯： | 精装 |
中图法： | TN4 |
相关供货商
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更新日期
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202
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2025-12-19
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图书简介 | | 本书首先简单介绍了纳米压印技术的研究现状；然后系统介绍了压印模板的制备和处理、压印用光刻胶、压印工艺和刻蚀工艺等，并着重阐述了纳米压印加工制造技术；此外，还介绍了纳米压印技术在半导体光电器件、半导体存储器件、生物技术和生命科学等领域的最新应用。 |
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