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图书信息
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微加工技术工艺原理与实验
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| ISBN： | 9787302661214 |
定价： | ￥69.00 |
| 作者： | 陈军[等]编著 |
出版社： | 清华大学出版社 |
| 出版时间： | 2024年06月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 247页 |
中图法： | TG66 |
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2026-05-29
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图书简介 | | 本书共分6篇12章，系统介绍了微加工技术工艺原理和实验教程。本书内容理论和实验相结合，涵盖了微加工技术工艺中的光刻、刻蚀、薄膜沉积、氧化和掺杂等工艺。理论部分着重对各种工艺技术的原理进行阐述。实验部分列举了光刻、刻蚀、薄膜制备和掺杂四大类工艺的单项实验，器件制造工艺实验和器件特性测量实验。 |
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