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图书信息
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集成电路与等离子体装备
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| ISBN： | 9787030775467 |
定价： | ￥168.00 |
| 作者： | 赵晋荣等编 |
出版社： | 科学出版社 |
| 出版时间： | 2024年04月 |
开本： | 24cm |
| 页数： | 282页 |
装祯： | 精装 |
中图法： | TN4;TN305.7 |
相关供货商
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供货商名称
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库存量
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库区
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更新日期
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北京人天书店有限公司
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23
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库区4/库区7/样本4/样本7
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2025-10-22
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其它供货商库存合计
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207
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2025-10-22
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图书简介 | | 本书主要介绍了集成电路中与等离子体设备相关的内容，具体包括集成电路简史、分类和发展方向以及面临的挑战，气体放电的基本原理和典型应用、等离子体刻蚀工艺与设备、等离子体表面处理技术与设备、物理气相沉积设备与工艺、等离子体增强化学气相沉积工艺与设备、高密度等离子体化学气相沉积工艺与设备、炉管设备与工艺等。 |
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