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图书信息
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光刻胶材料评测技术:从酚醛树脂光刻胶到最新的EUV光刻胶:ノボラックレジストから最新EUVレジストまで
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| ISBN： | 9787122438003 |
定价： | ￥198.00 |
| 作者： | (日)关口淳(関口淳)著 |
出版社： | 化学工业出版社 |
| 出版时间： | 2024年04月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 254页 |
装祯： | 精装 |
中图法： | TQ572.4 |
相关供货商
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北京人天书店有限公司
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2026-07-26
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其它供货商库存合计
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73
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2026-07-24
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图书简介 | | 光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，在模拟半导体、发光二极管、微机电系统、太阳能光伏、微流道和生物芯片、光电子器件/光子器件中都有重要的应用。本书从光刻技术基础知识出发，系统介绍了多种类型光刻胶应用工艺、评测技术。具体包括光刻胶涂布、曝光工艺、曝光后烘烤和显影技术，以及g线和i线光刻胶、KrF和ArF光刻胶、ArF浸没式光刻胶、EUV光刻胶等的特征、应用工艺及评测技术，希望对国内的研究人员有很好的启发和指导意义。 |
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