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图书信息
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微纳米制造技术及应用
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| ISBN： | 9787030457516 |
定价： | ￥138.00 |
| 作者： | 张德远等编著 |
出版社： | 科学出版社 |
| 出版时间： | 2015年10月 |
开本： | 24cm |
| 页数： | 252页 |
装祯： | 平装 |
| 中图法： | TB383 |
印次： | 2024.01重印 |
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202
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2026-04-24
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图书简介 | | 本书共分7章，内容涵盖了微机械加工、表面成膜、半导体加工、纳米制造和生物制造等，全面地讲述了微纳米加工的各种方法，每种工艺都按照由原理、工艺过程到应用特点的顺序论述，逻辑严谨、脉络清晰。 |
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