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图书信息
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MEMS/NEMS谐振器技术
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| ISBN： | 9787030757197 |
定价： | ￥298.00 |
| 作者： | 张文明，胡开明著 |
出版社： | 科学出版社 |
| 出版时间： | 2023年08月 |
开本： | 24cm |
| 页数： | 475页 |
装祯： | 精装 |
中图法： | TN629.1 |
相关供货商
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更新日期
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北京人天书店有限公司
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39
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2025-12-16
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其它供货商库存合计
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165
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2025-12-16
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图书简介 | | 本书主要介绍微/纳机电系统(MEMS/NEMS)谐振器动力学设计理论、分析方法及应用技术。全书共9章，主要包括：介绍MEMS/NEMS技术基础和谐振器技术的发展历程与趋势；阐述EMS/NEMS谐振器的工作原理、谐振结构设计理论及分析技术；介绍谐振器件制备涉及的材料、微纳加工工艺及技术；论述NEMS/NEMS谐振器中存在的丰富非线性现象、复杂动力学行为；介绍微纳尺度下的能量耗散理论、阻尼特性与作用机制及测试方法；详细介绍谐振器件中应用的各种振动激励与检测原理及技术；阐述通道式谐振器检测原理、动力学设计与分析技术；论述微纳尺度下谐振器件的模态弱耦合作用机制、谐振器设计及传感技术；介绍MEMS/NEMS谐振器中存在的典型失效模式与失效机理，并论述多种可靠性评估方法及测试技术。 |
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