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图书信息
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MEMS压力传感器理论与技术
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| ISBN： | 9787040604689 |
定价： | ￥99.00 |
| 作者： | 蒋庄德等著 |
出版社： | 高等教育出版社 |
| 出版时间： | 2023年08月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 358页 |
装祯： | 精装 |
中图法： | TP212 |
相关供货商
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更新日期
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51
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2026-09-11
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图书简介 | | 本书共13章，主要内容包括：绪论、MEMS压力传感器基础理论、MEMS压力传感器硅微工艺、SOI耐高温阻式压力传感器、微型压力传感器、高频压力传感器、谐振式压力传感器等。 |
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