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图书信息
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硅微机械陀螺误差建模理论与方法
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ISBN: | 9787030739490 |
定价: | ¥150.00 |
作者: | 申强[等]著 |
出版社: | 科学出版社 |
出版时间: | 2023年03月 |
开本: | 24cm |
页数: | 222页 |
中图法: | U666.12 |
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北京人天书店有限公司
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2025-09-09
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2025-09-09
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图书简介 | 本书共9章,以硅微机械陀螺作为研究对象,通过数学物理方程推导微机电系统(NEMS)宏模型,采用对称拓扑设计微机械陀螺结构,制定简单、高效工艺加工微机械陀螺,根据精密控制、电学知识设计微机械陀螺测控电路,通过上述方式阐明硅微机械陀螺误差产生机理并为减小其误差提供研究思路。 |
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