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图书信息
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新型微纳传感器技术
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| ISBN: | 9787122423467 |
定价: | ¥128.00 |
| 作者: | 赵玉龙,蒋庄德著 |
出版社: | 化学工业出版社 |
| 出版时间: | 2022年12月 |
开本: | 26cm |
| 页数: | 244页 |
装祯: | 精装 |
中图法: | TP212 |
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2025-11-05
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图书简介 | | 本书围绕微纳传感与测试技术的知识架构,阐述微纳传感器的基本原理、优势特点与应用。本书主要介绍单晶硅压阻原理、加速度传感器、压力传感器、谐振传感器、机床刀具测力和振动传感器、薄膜测力传感器、爆轰爆速传感器、MEMS电热执行器、气体传感器等典型微纳传感器的设计与制造方法。 |
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