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图书信息
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新型微机电系统与器件
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| ISBN： | 9787560665306 |
定价： | ￥49.00 |
| 作者： | 马宗敏主编 |
出版社： | 西安电子科技大学出版社 |
| 出版时间： | 2022年10月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 312页 |
中图法： | TH-39 |
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2025-12-10
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图书简介 | | 本书力图从几类最新的传感器入手介绍新型微机电器件及系统，全书共分七章，主要内容包括：近年来微机电系统的发展，MEMS惯性器件及系统的原理、工艺、最新发展，回音壁模式微腔器件及系统，典型水声传感器件及系统，典型高温压力传感器件及系统，最新的量子传感器件及系统，柔性传感器件及系统。 |
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