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图书信息
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新型微机电系统与器件
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| ISBN: | 9787560665306 |
定价: | ¥49.00 |
| 作者: | 马宗敏主编 |
出版社: | 西安电子科技大学出版社 |
| 出版时间: | 2022年10月 |
开本: | 26cm |
| 页数: | 312页 |
中图法: | TH-39 |
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2026-04-03
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图书简介 | | 本书力图从几类最新的传感器入手介绍新型微机电器件及系统,全书共分七章,主要内容包括:近年来微机电系统的发展,MEMS惯性器件及系统的原理、工艺、最新发展,回音壁模式微腔器件及系统,典型水声传感器件及系统,典型高温压力传感器件及系统,最新的量子传感器件及系统,柔性传感器件及系统。 |
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