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图书信息
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钼靶材及其薄膜制备技术
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ISBN: | 9787030703859 |
定价: | ¥118.00 |
作者: | 谢敬佩等著 |
出版社: | 科学出版社 |
出版时间: | 2022年07月 |
开本: | 24cm |
页数: | 10,189页 |
中图法: | TB383 |
相关供货商
供货商名称
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北京人天书店有限公司
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8
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2025-08-29
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202
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2025-08-28
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图书简介 | 本书从钼粉的制备和靶材的热加工工艺入手,研究了原材料及还原工艺对钼粉性能的影响和烧结钼的热变形行为,分析了变形温度、应变速率、变形量等对其动态再结晶和静态再结晶的影响,确定了钼靶材的制备工艺,实现了钼靶材的微观组织调控。本书还研究了钼靶材的原始组织状态、单层钼薄膜的热处理、双层钼薄膜的结构调控和工艺优化,探究其对金属钼薄膜结构和光电性能的影响,从而制备出具有良好光电性能和高黏结性能的钼薄膜。 |
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