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图书信息
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微机电系统设计及应用探究
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| ISBN： | 9787557880477 |
定价： | ￥86.00 |
| 作者： | 吴倩楠著 |
出版社： | 吉林科学技术出版社 |
| 出版时间： | 2021年05月 |
开本： | 24cm |
| 页数： | 177页 |
中图法： | TM380.2 |
印次： | 2022.05重印 |
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2
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2026-07-02
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图书简介 | | 本书共5章，内容包括：微机电系统概述、微机电系统的设计方法学、微细加工技术、微机电系统检测技术、微机电系统的应用。 |
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