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图书信息
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高温SiC MEMS传感器的热电特性
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| ISBN: | 9787030724892 |
定价: | ¥88.00 |
| 作者: | (澳)丁东安(Toam Dinh),(澳)阮南中(Nam-Trung Nguyen),(澳)陶宗越(Dzung Viet Dao)著 |
出版社: | 科学出版社 |
| 出版时间: | 2022年06月 |
开本: | 24cm |
| 页数: | 10,133页 |
装祯: | 平装 |
中图法: | TM54;TH-39 |
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2025-11-05
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图书简介 | | 本书主要介绍了碳化硅(SiC)传感器在高温下热电特性的研究进展。本书可分为三部分,共七章。第一部分从单层SiC和多层SiC的热阻效应、热电效应、热电子效应和热容效应等物理效应方面来介绍SiC的热电特性;第二部分介绍了SiC的诸多重要特征以及SiC MEMS的制造流程,总结了SiC传感器、热流传感器和对流惯性传感器的最新进展;第三部分论述了SiC热电传感器的应用前景。 |
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