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图书信息
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微机电系统
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| ISBN： | 9787561276761 |
定价： | ￥69.00 |
| 作者： | 苑伟政，乔大勇，虞益挺编著 |
出版社： | 西北工业大学出版社 |
| 出版时间： | 2021年06月 |
版次： | 2版 |
| 开本： | 26cm |
页数： | 341页 |
中图法： | TH-39 |
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50
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2025-11-24
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图书简介 | | 本书是在第一版的基础上修订而成，结合微机电系统领域的研究成果编著而成的。全书共分为六章，分别介绍了MEMS发展历程，MEMS理论基础，MEMS基本工艺技术，MEMS设计技术，典型微器件与微系统和微测试技术。在介绍微加工工艺方面，《普通高等教育“十一五”规划教材：微机电系统》结合大量工艺实例，易于学生理解，有助于提高其动手能力；对各种典型微机电器件的介绍，大部分来源于实验室的课题研究实例，内容充实新颖。 |
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