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图书信息
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硅基MEMS制造技术
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| ISBN： | 9787121432088 |
定价： | ￥138.00 |
| 作者： | 王跃林，吴国强等编著 |
出版社： | 电子工业出版社 |
| 出版时间： | 2022年04月 |
开本： | 24cm |
| 页数： | 17,350页 |
装祯： | 精装 |
中图法： | TH-39 |
相关供货商
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库区
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更新日期
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北京人天书店有限公司
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41
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库区4/库区7/样本4/样本7
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2026-02-16
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其它供货商库存合计
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41
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2026-01-29
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图书简介 | | 本书主要围绕如何利用集成电路平面工艺制造三维微机械结构，进而实现硅基EMs芯片的批量制造，系统介绍了硅基IEMs芯片制造技术。由于Ms涉及学科较多，为了让不同学科背景的人能够快速读懂本书，本书先对MEMS的来龙去脉及MEMS出现的原因进行了简单介绍，然后详细介绍了相关内容，尽量做到通俗易懂。希望读者通过本书能全面了解硅基MEMS芯片制造技术，为从事与EMs相关的工作打下基础。 |
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