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图书信息
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MEMS光纤声压传感器技术
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| ISBN： | 9787030693273 |
定价： | ￥99.00 |
| 作者： | 金鹏[等]著 |
出版社： | 科学出版社 |
| 出版时间： | 2022年03月 |
开本： | 24cm |
| 页数： | 170页 |
装祯： | 平装 |
中图法： | TP212.4 |
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更新日期
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202
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2026-02-06
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图书简介 | | 本书首先介绍MEMS光纤声压传感器的结构特征、发展历程和应用前景；其次根据MEMS光纤声压传感器的工作原理，分别从光学和力学两个角度进行详细的介绍与分析；然后从制作角度介绍传感器的膜片加工和结构封装；最后对传感器的性能进行详细的测试。 |
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