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图书信息
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纳米加工技术与原理
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| ISBN： | 9787118123227 |
定价： | ￥119.00 |
| 作者： | (加拿大)Maria Stepanova，(加拿大)Steven Dew编 |
出版社： | 国防工业出版社 |
| 出版时间： | 2021年07月 |
开本： | 24cm |
| 页数： | 12,318,10页 |
装祯： | 精装 |
中图法： | TB383 |
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639
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2025-08-29
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图书简介 | | 本书内容包括：纳米加工研究方向简介、电子束曝光与显影的基本原理、电子束曝光与抗蚀剂工艺的模拟仿真、氦离子光刻的原理及性能等。 |
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