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图书信息
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薄膜材料与技术导论
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ISBN: | 9787567235793 |
定价: | ¥35.00 |
作者: | 汤如俊编著 |
出版社: | 苏州大学出版社 |
出版时间: | 2021年08月 |
开本: | 26cm |
页数: | 133页 |
装祯: | 平装 |
中图法: | TB383 |
相关供货商
供货商名称
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更新日期
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2000
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2024-04-16
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图书简介 | 本书较全面地介绍了有关薄膜材料制备技术的基础知识,总结了近年来薄膜材料制备领域的新进展,并融入了编著者多年来从事薄膜材料研究中所取得的成果。在第一章中,主要介绍了薄膜材料的基本概念、特征,并扼要介绍了薄膜材料的物性和结构的分析方法。第二章和第三章讲述重要的预备知识,即真空技术和等离子体技术。第四、第五章着重讨论了制备薄膜材料的物理气相沉积技术和化学气相沉积技术的基本原理和方法,包括蒸发、溅射、离子束、脉冲激光和等离子体化学气相沉积技术。第六章则讨论了薄膜材料的厚度和沉积速率的检测方法。在最后的第七到第十章中,重点地介绍了当前国际上研究的几种热点薄膜材料,如低介电常数薄膜、铁电薄膜、氧化锌发光薄膜和二维材料等的制备方法、结构和性质。 |
目录 | Chapter 1 Characteristics of Thin Filmsr 1.1 Definition of filmsr 1.2 Surface effectr 1.3 Thin film structures and defectsr 1.4 Basic requirements to make a thin filmr Exercisesr Chapter 2 Vacuum Technology Foundationr 2.1 Basic concepts of vacuumr 2.2 Dynamics of gasr 2.3 Gas flow and gas extractionr 2.4 Vacuum acquisitionr 2.5 Vacuum measurementr Exercisesr Chapter 3 Plasma Technology Basisr 3.1 Basic concepts of plasmar 3.2 Classification of plasmar 3.3 Occurrence of low-temperature plasmar Exercisesr Chapter 4 Physical Vapor Deposition of Thin Filmsr 4.1 Evaporation depositionr 4.2 Sputtering depositionr 4.3 Ion-beam depositionr 4.4 Pulsed-laser depositionr 4.5 Molecular-beam epitaxyr Exercisesr Chapter 5 Chemical-vapor Depositionr 5.1 Thermochemical-vapor depositionr 5.2 Plasma-enhanced chemical-vapor depositionr 5.3 High-density plasma chemical-vapor depositionr 5.4 Other chemical-vapor depositionr Exercisesr Chapter 6 Kiics of the Process of Thin Film Growthr 6.1 Four steps of thin film growthr 6.2 Adsorptionr 6.3 Surface diffusionr 6.4 Nucleation and growth of 2D islandsr 6.5 Crystallization and film growthr 6.6 Growth modesr 6.7 Structure developmentr 6.8 Interfacesr Exercisesr Chapter 7 Measurement of Film Thickness and Deposition Rater 7.1 Optical methodr 7.2 Balance methodr 7.3 Electrical methodr 7.4 Surface-roughness-meter methodr Exercisesr Chapter 8 Recent Advances of Thin Film Materials and Technologyr 8.1 Recent advances in thin film fabrication technologiesr 8.2 Some important electronic thin film materialsr 8.3 Progresses of two-dimensional thin film materialsr Exercisesr References |
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