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图书信息
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微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用
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| ISBN： | 9787030692542 |
定价： | ￥128.00 |
| 作者： | 顾长志等编著 |
出版社： | 科学出版社 |
| 出版时间： | 2021年06月 |
版次： | 2版 |
| 开本： | 24cm |
页数： | 11,404页 |
中图法： | TB383 |
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202
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2025-08-29
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图书简介 | | 本书简述微纳加工的主要方法及在纳米材料与器件研究中的应用，注重理论与实践的结合，包括光学曝光、电子束曝光、聚焦离子束加工、激光加工、纳米压印、刻蚀技术、薄膜技术、自组装加工，以及微纳加工在纳米材料与器件的电学、光学、磁学等研究领域的应用，重点介绍各种微纳加工方法的产生根源与最新发展的趋势，在科学研究中的创新性应用与要注意的问题，以及在多学科领域中对探索科学发现的重要作用。 |
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