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图书信息
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微机电系统工程基础
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| ISBN： | 9787312024689 |
定价： | ￥38.00 |
| 作者： | 王琪民，刘明侯，秦丰华编著 |
出版社： | 中国科学技术大学出版社 |
| 出版时间： | 2010年01月 |
开本： | 23cm |
| 页数： | 370页 |
中图法： | TM38 |
印次： | 0 |
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2026-04-02
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图书简介 | | 本书主要介绍相关的工程基础知识。本书共11章，较为详细介绍了半导体制作工艺、执行器、微系统的工作原理及制作方法和应用范围、各种新发展的微检测技术、微系统设计等，还重点介绍了微机电系统的固体力学、微流体力学和微尺度传热的基本知识，分析了微系统中的工程特点等。 |
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