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图书信息
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薄膜技术与薄膜材料
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| ISBN： | 9787302274834 |
定价： | ￥98.00 |
| 作者： | 田民波，李正操编著 |
出版社： | 清华大学出版社 |
| 出版时间： | 2011年12月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 13,531页 |
中图法： | TB43;TB383 |
印次： | 2021.01重印 |
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北京人天书店有限公司
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2026-04-20
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2026-04-20
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图书简介 | | 本书内容包括真空技术基础、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用4大部分，涉及大规模集成电路、电子元器件、平板显示器、信息记录与存储、MEMS、传感器、白光LED固体照明、太阳能电池、材料表面改性等领域。 |
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