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图书信息
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硅基氮化镓光电探测器的多层异质外延生长研究
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| ISBN： | 9787568414241 |
定价： | ￥38.00 |
| 作者： | 郑益著 |
出版社： | 江苏大学出版社 |
| 出版时间： | 2020年07月 |
开本： | 22cm |
| 页数： | 195页 |
中图法： | TN215 |
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2026-08-06
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图书简介 | | 本书为英文图书，研究了氮化铝缓冲层对氮化镓外延层表面形貌和晶体质量的影响，讨论了氮化镓异质外延生长中镓扩散到硅衬底中并溶解形成镓—硅合金的途径，最终经过优化得以实现利用等离子辅助分子束外延在硅(111)衬底上生长出无微晶的光滑氮化镓外延层。 |
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