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图书信息
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中国电子信息工程科技发展研究 集成电路芯片制造工艺专题
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| ISBN： | 9787030623591 |
定价： | ￥99.00 |
| 作者： | 中国信息与电子工程科技发展战略研究中心[编著] |
出版社： | 科学出版社 |
| 出版时间： | 2019年10月 |
开本： | 21cm |
| 页数： | 72页 |
装祯： | 平装 |
| 中图法： | G203;TN405 |
印次： | 2020.05重印 |
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2026-08-26
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图书简介 | | 本书试图以产业发展主流工艺为导向，侧重原理和产业应用实际相结合技术介绍，尽量避免冗长深奥的物理和化学公式和原理推导。定性地对芯片生产制造工艺中的关键单项工艺进行描述，并在单项工艺角色介绍后，解释了具有复杂系统工程特点的工艺集成技术难点。重点介绍了芯片制造工艺中存在的五个主要挑战和可能的解决途径。最后讨论了芯片制造工艺产业链生态链的依赖关系。 |
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