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图书信息
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微机电系统(MEMS)制造技术
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| ISBN： | 9787030399748 |
定价： | ￥128.00 |
| 作者： | 苑伟政，乔大勇著 |
出版社： | 科学出版社 |
| 出版时间： | 2014年03月 |
开本： | 24cm |
| 页数： | 240页 |
装祯： | 精装 |
| 中图法： | TM380.5 |
印次： | 2020.01重印 |
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202
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2026-04-03
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图书简介 | | 本书共9章，分别介绍了MEMS制造技术发展历程和发展趋势、MEMS制造材料基础、MEMS制造中的沾污及洁净技术、MEMS制造中的图形转移技术、湿法腐蚀与干法刻蚀技术、氧化扩散与注入、薄膜制备技术、MEMS标准工艺和MEMS封装技术。 |
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