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图书信息
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光学薄膜厚度的光干涉测试方法
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| ISBN: | 9787030623027 |
定价: | ¥98.00 |
| 作者: | 苏俊宏著 |
出版社: | 科学出版社 |
| 出版时间: | 2019年09月 |
开本: | 24cm |
| 页数: | 166页 |
装祯: | 平装 |
中图法: | TH744.3 |
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2026-11-13
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图书简介 | | 本书共7章,主要介绍了光学薄膜常数及厚度的传统测量方法;干涉法测量薄膜厚度原理;干涉条纹小数部分重合法的基础上,对干涉条纹测量薄膜厚度技术与方法进行说明;通过快速傅里叶变换法对一幅静态干涉图的处理;以相位偏移技术为基础,借助干涉测试装置捕获动态干涉条纹,通过一系列关键技术的引入实现动态干涉图的分析与处理,从而获得薄膜厚度等。 |
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