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图书信息
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磁控溅射制备氮化铜薄膜的结构与性能
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| ISBN： | 9787517074397 |
定价： | ￥57.00 |
| 作者： | 肖剑荣著 |
出版社： | 中国水利水电出版社 |
| 出版时间： | 2019年04月 |
开本： | 24cm |
| 页数： | 173页 |
中图法： | TF811 |
相关供货商
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北京人天书店有限公司
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2026-05-13
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209
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2026-05-13
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图书简介 | | 磁控溅射是一种通用、成熟的薄膜制备工艺技术，其制备工艺可调剂参数较多，通过精细控制能够实现对薄膜结构的有效调控。本书研究了薄膜的工艺参数、薄膜结构与性能等之间的内在关系，探讨了薄膜的电子输运、光学带隙、热稳定性的有关物理量的变化机制。 |
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