同类推荐
-
-
MEMS原理及传感器应用
-
¥79.00
-
-
MEMS原理及传感器应用
-
¥79.00
-
-
MEMS原理及传感器应用
-
¥79.00
-
-
机电控制系统设计与应用
-
¥72.00
-
-
生产实习:机电类
-
¥31.00
-
-
机电工程管理与实务百题讲坛
-
¥99.80
-
-
机电工程管理与实务百题讲坛
-
¥99.80
-
-
机电工程管理与实务百题讲坛
-
¥99.80
-
-
机电一体化系统设计与智能应用研究
-
¥80.00
-
-
机电控制技术基础
-
¥58.00
|
|
图书信息
|
|
|
|
硅MEMS工艺与设备基础
|
| ISBN： | 9787118117400 |
定价： | ￥160.00 |
| 作者： | 阮勇，尤政编著 |
出版社： | 国防工业出版社 |
| 出版时间： | 2018年12月 |
开本： | 24cm |
| 页数： | 31,463页 |
中图法： | TH-39 |
相关供货商
|
供货商名称
|
库存量
|
库区
|
更新日期
|
|
北京人天书店有限公司
|
19
|
库区5/样本5
|
2026-07-03
|
|
其它供货商库存合计
|
1818
|
|
2026-07-02
|
图书简介 | | 本书主要围绕硅基MEMS加工技术中涉及的体硅工艺清洗、光刻、氧化扩散、刻蚀、键合、检测封装。内容包括：MEMS技术与器件发展概述；MEMS工艺与设计规则简介；湿洗清洗；氧化；光刻与图形化；薄膜淀积；掺杂等。 |
|