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图书信息
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硅MEMS工艺与设备基础
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| ISBN： | 9787118117400 |
定价： | ￥160.00 |
| 作者： | 阮勇，尤政编著 |
出版社： | 国防工业出版社 |
| 出版时间： | 2018年12月 |
开本： | 24cm |
| 页数： | 31,463页 |
中图法： | TH-39 |
相关供货商
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更新日期
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其它供货商库存合计
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1457
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2026-11-13
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图书简介 | | 本书主要围绕硅基MEMS加工技术中涉及的体硅工艺清洗、光刻、氧化扩散、刻蚀、键合、检测封装。内容包括：MEMS技术与器件发展概述；MEMS工艺与设计规则简介；湿洗清洗；氧化；光刻与图形化；薄膜淀积；掺杂等。 |
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