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图书信息
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微机电系统概论
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| ISBN： | 9787502480158 |
定价： | ￥31.00 |
| 作者： | 邱丽芳，谢仲添主编 |
出版社： | 冶金工业出版社 |
| 出版时间： | 2020年10月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 195页 |
中图法： | TM38 |
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2026-09-28
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图书简介 | | 本书系统介绍微机电系统的特点及应用前景、微机电系统的材料、微机电系统的加工、微机电系统的组成、微机电系统的设计及测试，重点介绍适合于微机电系统的柔顺机构的设计。 |
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