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图书信息
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MEMS技术及应用
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| ISBN： | 9787040504781 |
定价： | ￥69.00 |
| 作者： | 蒋庄德等著 |
出版社： | 高等教育出版社 |
| 出版时间： | 2018年11月 |
开本： | 27cm |
| 页数： | 318页 |
装祯： | 精装 |
中图法： | TM38 |
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7
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2026-10-01
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图书简介 | | 本书讨论的主题是微机电系统(MEMS)这一前沿的交叉学科。作者通过对MEMS技术的主要方面：结构、材料、工艺、设计、测量进行系统论述，并随之以对MEMS典型应用的分类介绍，为读者勾勒出当前微机电系统的发展全貌。 |
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